射频电源、射频发生器、阀门、真空泵、阀芯、静电吸盘密封圈、传送模块、气体流量计、精密轴承、运动控制器镀膜材料、精密运动平台、机械臂、反应腔喷淋头
化合物半导体
碳化硅SiC、氮化镓GaN、立方氮化硼(CBN)、SiC晶体生长炉、SiC衬底及外延片、GaN衬底及外延片、SiC功率器件GaN功率器件
晶圆制造设备
刻蚀设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、光刻机、涂胶显影设备、减薄设备、湿法处理设备、清洗设备、抛光设备、量测检测设备
先进封装
倒装芯片封装、晶圆级封装、2.5D封装、3D封装、凸块封装、扇出型晶圆级封装、探针台、测试机、分选机、X-ray检测设备